テフロンTM加工、ふっ素樹脂コーティングの最適活用を実現する

株式会社吉田SKT 〜ふっ素樹脂(テフロン(R))コーティングと表面改質技術の専門メーカー
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PBI、PIコーティング
 PBI(ポリベンゾイミダゾール)、PI(ポリイミド)は、スーパーエンジニアリングプラスチックの中でも最高の耐熱性を有し、さらに電気絶縁性などに優れた超スーパーエンジニアリングプラスチックです。
吉田SKTでは、従来はプラスチック成形品として利用されることの多かったPBIやPIを、金属製品などの表面に塗装加工する技術を開発。このコーティング加工によって、スーパーエンプラの優れた機能や物性を備えながら、コスト、耐久性の面で成形品にはないメリットをも手にすることができます。
特長・効果
  • 耐プラズマ性
  • 電気絶縁性
  • 耐熱性
  • 耐水性
仕様
  • 膜厚…5〜300μm
  • 基材…金属、セラミックなど
  • 熱分解温度…PI:480℃、 PBI:580℃
  • ガラス転移点…PI:285℃、 PBI:427℃
おもな用途
  • マグネット着磁治具
  • エッチャー下部電極
  • ウェハー・ガラス用ハンド


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